<aside> 💡 분석기술센터 손경식 연구원님

</aside>

실제 필드에서 어떻게 활용되는지 가르쳐주심.

• 목차(클릭)

전계방출형 주사전자 현미경

Feild Emission Scanning Electron Microscope, FE-SEM

현미경

광학현미경

• 부품 관찰
• 가시광선

주사전자현미경

• Micro Structure
• Grain
• 내부 구성품

투과전자현미경

• 전자들이 시편 내부를 뚫고 지나감
• 시편 내부 구조 확인

전자의 거동

Why Electron?

현미경의 분해능이 전자의 에너지에 따라서 변할 수 있기 때문에 전자를 사용한다.

전자의 속도로 분해능을 조절할 수 있기 때문이다.

$$ Resolution\ is\ limited\ by\ wavelenght\\

\delta=\frac{0.6\lambda}{NA}\\

NA=n_0sin\alpha $$

전자의 이중성

파동성

• 전자를 가속시킬 때 파장이 줄어드는 현상이 있다.
• 파장이 줄어들면서 Resolution 값이 줄어든다.

입자성

• 시편과 마주했을 때 여러 신호를 나타낼 수 있다.
• 시편의 표면이 어떤 물질인지 파악하도록 한다.

전자의 에너지와 파장의 관계(파동성)

$$ E=\frac{1}{\lambda} $$

• 전자는 일반적으로 "-"charge를 띄고 있다. 그래서 자기장 영역에서 전자는 더 빠르게 혹은 더 느리게 움직일 수 있다.
  • 즉, 외부의 힘으로 전자의 속도를 제어할 수 있다.
    • 전자의 속도가 파장의 길이를 결정한다.
      • 파장이 짧을수록 분해능이 낮아지고 미세한 관찰이 가능하다.

전자-시편 상호 작용