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CFV106 皮拉尼/冷阴极复合真空计 | 1.0E-5～1.0E5 Pa 宽量程测量 | INFITECH 宜福泰科
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CFV106 是一款将 Pirani 与冷阴极电离规集成于一体的复合真空计，一只规管覆盖 1.0E-5～1.0E5 Pa，从粗真空到高真空连续测量，适用于半导体、镀膜、加速器与真空熔炼等工艺，支持 RS485、0–10 V、4–20 mA 输出，可下载规格书并获取选型建议。
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/products/active-gauges/cfv106-vacuum-gauge
一体化 Pirani / 冷阴极复合真空计，用一只规管完成 1.0E-5～1.0E5 Pa 全量程监测与联动控制。
CFV106 是 INFITECH 推出的 Pirani + 冷阴极电离复合真空计（Inverted Magnetron + Pirani），一支规管覆盖 1.0E-5 ～ 1.0E5 Pa，从大气抽空到高真空稳定段全程可见，适合同时关心抽空过程与高真空状态的系统。
在粗、低、中真空段由 皮拉尼规 连续测量；进入高真空段后由 冷阴极规 自动接力，对外只输出一组连续的真空度信号，工程师无需手动切换测量通道，也无需额外再加一支高真空规和一套接线。配合本体 5 位 LED 数显与总线/模拟量输出，CFV106 既可作为主真空计独立使用，也便于挂载在 PLC、DCS 或上位机系统中。
一支复合规覆盖粗真空到高真空
集成 Pirani 与冷阴极电离测量，一只真空计即可完成 1.0E-5 ～ 1.0E5 Pa 全量程监测，减少一支高真空规及其电缆与安装位点，简化系统配置与备件管理。
无灯丝冷阴极，适合长周期运行
冷阴极段为无灯丝结构，不存在灯丝烧毁风险，更适合频繁启停和长时间运行的高真空系统，相比热阴极方案寿命与维护周期更可控。
自动区段切换，对外始终单一信号
高压段由皮拉尼工作，低压段由冷阴极接管，区段切换在内部完成，对外只输出一条连续的真空度曲线，便于 PLC / 上位机统一编写工艺逻辑。
本地数显 + 总线 / 模拟量输出双模式
机身配备 5 位 LED 数显和 Pa / Torr / mbar 单位切换，方便现场查看；同时提供 RS485（Modbus RTU）及可选 0–10 V、4–20 mA 输出，覆盖主流自动化系统接口需求。
易清洁电极结构，降低高真空规使用成本
冷阴极电极区域可定期拆卸清洁，污染严重时只需更换电极组件，无需整支规头报废，适合粉尘、油雾等复杂工况下的长期使用。
工业安装友好，适配空间受限设备
采用 KF25 真空接口 + DB9 电气接口的紧凑结构，银色铝壳 + 红色底座便于在设备舱内布置，适合半导体设备、镀膜机和科研装置等空间有限的系统。
| 项目 (Item) | 规格 (Specification) | 备注 (Remark) |
|---|---|---|
| 测量原理 | Pirani + 冷阴极电离规 (Inverted Magnetron) | 复合真空计 |
| 测量范围 | 1.0E-5 ～ 1.0E5 Pa | N₂ / 空气标定 |
| 测量精度 | 1.0E-5～1.0E-4 Pa：±30% of Reading； | |
| 1.0E-4～1.0E-2 Pa：±20% of Reading； | ||
| 1.0E-2～1.0E4 Pa：±15% of Reading； | ||
| 1.0E4～1.0E5 Pa：±30% of Reading | 典型条件 | |
| 可重复性 | ≤ ±5% of Reading | |
| 通讯接口 | RS485 (Modbus RTU) | 标配 |
| 模拟量输出 | 0–10 V、4–20 mA | 选配 |
| 设定点输出 | 最多 2 路继电器输出 | 选配 |
| 真空接口 | KF25 | 其它接口可定制 |
| 电气接口 | DB9（母） | |
| 供电电源 | 24 V DC（±10%），功耗 ≤3 W | |
| 允许过压 | 2 bar（绝压，惰性气体） | |
| 显示功能 | 5 位 LED 数显，Pa / Torr / mbar 单位切换 | 带状态指示 |
| 工作温度 | [待确认] | 以正式规格书为准 |
| 真空侧接触材质 | [待确认] | 以正式规格书为准 |
| 认证标准 | CE |
半导体工艺与真空腔体设备：
部署在工艺腔、Loadlock、转运舱等位置，从抽空阶段到高真空稳定区全程监测真空度，便于工艺窗口控制与设备状态判断。
PVD / CVD 镀膜与真空热处理设备：
一支规管覆盖粗抽、前级和工艺高真空段，减少规管数量与接线点，降低安装复杂度和维护工作量。
科研装置与粒子加速器系统：
为电子显微镜、质谱仪、加速器束线段等提供连续真空度监测，在保证高真空读数稳定性的同时简化系统集成。
真空熔炼与空间模拟装置：
支持从大气压抽至高真空的全程监控，可作为试验平台和工艺设备上的主真空计或关键参考测点。
Q：CFV106 相比单独使用 Pirani 或冷阴极规有什么优势？
A： 单独的 Pirani 在高真空段失效，单独的冷阴极规在粗真空段无法工作。CFV106 将两者集成，一支规管覆盖 1.0E-5 ～ 1.0E5 Pa，既能看抽空过程，又能监控高真空稳定区，减少规管数量与接线点，简化系统设计。
Q：CFV106 的量程和典型精度表现如何？
A： 量程为 1.0E-5 ～ 1.0E5 Pa，分段精度约 ±15%～±30% of Reading，重复性 ≤ ±5% of Reading，可满足大多数工艺监测与设备状态判断需求。
Q：冷阴极部分在什么条件下点火工作？
A： 当真空优于约 1.0E-1 Pa 时，冷阴极段自动点火并开始测量；在更高压力下自动关闭，由皮拉尼段接管测量，对外输出保持连续，不需要用户干预。
Q：CFV106 的输出接口如何接入现有系统？
A： 标配 RS485（Modbus RTU），可直接挂接 PLC、DCS、上位机或 IVMS 等系统；如需模拟量，可选 0–10 V 或 4–20 mA 输出，用于连接传统模拟输入卡或简单控制回路。
Q：安装方向和位置有什么要求？
A： 对安装方向不敏感，一般按结构空间自由布置即可。建议避开油雾、粉尘或冷凝液直冲位置，安装在气流相对均匀的管路或腔体段，有利于延长冷阴极电极的维护周期。
Q：维护周期和清洁方式如何安排？
A： 建议每 6–12 个月 根据工况检查并清洁冷阴极电极，严重污染时更换电极组件；在粉尘、油雾或腐蚀性较强的工况下，应缩短检查周期，以保证点火可靠性和测量稳定性。
Q：CFV106 能否直接用于腐蚀性气体环境？
A： 标准版本不建议用于强腐蚀性气体。如需在此类工况下使用，应联系 INFITECH 进行工况评估，并根据结果选择合适的耐腐蚀方案或定制版本。
🚛 高效供应链协同
常规型号 CFV106-0-1-0 常备库存，可覆盖多数标准工况需求；特殊接口或输出配置支持订单式生产。通过合理的安全库存与排产机制，协助设备厂和系统集成商缩短项目交期，降低因备件短缺导致的停机风险。
👨🔧 专业应用对接
INFITECH 应用工程师可提供选型建议、安装位置评估、3D 安装确认以及 RS485 / 模拟量输出的参数配置指导。如需与现有 PLC、DCS 或第三方真空控制器配套使用，也可提供通讯协议对接与调试配合。
🛡️ 标准化品质管理
每台 CFV106 出厂前均经过全量程标定与功能测试，关键量程点留有校准记录，控制批次间一致性。在高真空和长周期运行等苛刻工况下，通过老化和抽检策略保证长期可靠性，为设备整机厂和终端用户提供稳定、可追溯的真空测量基础。
让真空测量更简单!
技术咨询：400 106 9896（工作日 9:00–18:00）
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